检验结果（性能）

检验项目许容值（允许值）实测值判定

1. 真直度

X1轴：0.5 μm / 200 mm*Y轴：0.5 μm / 200 mm 0.29 μm0.31 μm 良

2. 送り精度

X1轴：20 ± 0.4 μm (5m 值 ±2%) 19.8 μm 良

3. 检出器的指示精度

レンジ 800 μm：400 μm ± 12 μmレンジ 80 μm：40 μm ± 1.2 μm 405.1 μm39.96 μm 良

4. 触针先端的 r

Ra 校正值 ± 0.1 μm（粗さ標準片校正值 Ra = 0.41 μm） 0.39 μm 良

综合判定

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合格（所有项目均为“良”）