基础技术参数：
　　　　型  号： FUNCTION 564
 n 行     程： X轴  500 mm
 Y轴   600 mm
 Z轴  400 mm
 ˉ 结构型式：活动桥式
 ˉ 传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承
 ˉ 长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
 ˉ 机    台：高精度（00级）花岗岩平台
 ˉ 使用环境：温度（20±2）℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
 ˉ 空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
 ˉ 空气流量：120 L/min – 140 L/min
 ˉ 整机尺寸（LWH）：1.2m X 1.4 m X 2.3 m
 ˉ 机台承重：500 kg ，整机重量：850 Kg
 空间测量精度：（2.80+L/300）μm