石墨半导体离子注入等离子蚀刻用石墨制品-弘瞬新能源材料科技（浙江）有限公司手机版

详细介绍

1.离子注入用石墨，细颗粒高密度的石墨呈现出很强的抗腐蚀性，即使是在极其恶劣的工况下(如离子束轰击或等离子体束)也是如此。

2.由于离子束的原因，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。

3.我司采用德国西格里石墨，不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩，且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度石墨电极及离子源。

4.即使在离子轰击或等离子等极限工作条件下，细粒、高密度石墨也不易受腐蚀。离子轰击设备的金属部件要接触离子束，磨损严重，可使用合适的石墨挡板进行保护。

我司不仅提供石墨挡板，还提供适用于各种注入机的电极和离子源，这些石墨产品都具有耐腐蚀和纯度高的优点。