‌油式螺杆真空泵‌是一种利用一对螺杆在泵壳中同步高速反向旋转产生吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能够抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。这种真空泵的结构特点包括：

• ‌结构简单，零部件少‌，稳定性高，制造成本低。

• 常用的电机直接连接在转子上，减少了皮带或传动链驱动的需要。

• 等距螺杆泵没有内压缩过程，需要冷却水冷却，以确保稳定运行。

• 变频控制技术，如PID调频控制，适应不同的真空应用工况，提高能效。

• 精巧的单油箱设计，三级油气分离，确保油分效果，延长轴承寿命。

• 优化的油路/气路设计，良好的润滑冷却效果，配备大口径空气过滤，延长维护周期。

• 合理的冷热分区结构设计，提高热区温度，减少油品乳化，延长油的使用寿命。

油式螺杆真空泵的优点包括：

• 抽气速度快、真空度高、运行平稳、噪音低、振动小、能耗低。

• 能够在较宽的压力范围内工作，对可凝性气体、腐蚀性气体和含粉尘的气体等具有较好的适应性。

• 被广泛应用于半导体制造、化工、制药、食品加工、科研等领域，为各种需要真空环境的工艺和实验提供可靠的真空支持。