晶圆测试高低温两槽式冷热冲击试验箱噪音低

工作原理：

1. 试验箱分为两个区域：高温区和低温区。

2. 样品先放置在高温区，进行高温试验。

3. 经过一段时间后，快速将样品转移到低温区，进行低温试验。

4. 这个转移过程通常在短时间内完成，以实现快速温度变化。

5. 样品在高低温区之间来回交替，重复多次。

6. 在试验过程中，监测和记录样品的性能和状态。

特点：

1. 两槽设计：由两个温度区组成，分别用于高温和低温。

2. 快速转换：能够快速实现温度的切换。

3. 温度范围广：可覆盖较大的温度范围。

4. 高重复性：保证测试结果的一致性和可靠性。

5. 控制精度高：对温度的控制精准。

6. 适用于多种样品：可以测试不同类型和尺寸的样品。

7. 数据记录与分析：方便对测试过程进行监测和分析。

8. 结构紧凑：占用空间相对较小。

9. 操作简单：易于使用和维护。

10. 可靠性高：具有较长的使用寿命和稳定的性能。

温度偏差：±3℃(空载时)

温度波动度：≤1℃ (空载时)

升温速率：从常温～150℃≤25min(全程平均)(升温时间为高温箱单独运转时的性能)

降温速率：从常温～-55℃≤45min(全程平均)(降温时间为低温箱单独运转时的性能)

时间设定范围：1～60000M

温度恢复时间：≤5min

提篮转化时间：≤15s

观察窗：210×275mm或395×395mm(有效视界)

晶圆测试高低温两槽式冷热冲击试验箱噪音低

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