直线电机驱动
直线电机驱动采用了直线电机以及直线光栅尺,定位精度优异。另外,由于不存在机械接触,所以可以保持高应答性和长期稳定性,提高信赖度。与沙迪克多年研发出来的运动控制器(SMC)相结合,发挥最高性能。
搭载LQW电源
在LQ电源中,直接在导入加工中使用三维实体模型,超越熟练作业者的加工技巧,实现加工 性能的飞跃性提高。由于可从三维实体模型中自动生成最合适的加工条件,能够大幅度进行无人化、省力化操作。
纳米领域的加工
通过本司生产的陶瓷空气滑块以及直线电机,搭载了非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺,实现工作台最小驱动单位10纳米。另外,标准搭载了高性能的加工液冷却装置,维持稳定的超精密加工。