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超精密定压定量复合控制磨床的特点:
1.加工效率,品位,极少SSD,工具寿命。
在所有方面都超过了传统的加工方法。
在东北大学的共同研究中诞生了划时代的难削材料的磨削加工方法。通过自主开发的智能车轮和定压定量复合控制技术,实现了高加工效率、品位、SSD的极小化和工具寿命。
2.始终保持最佳加工状态
是为了极少地抑制对工件的损害而开发的划时代的技术。随时检测施加在工件和砂轮上的压力,通过NC复合控制切入压力和量。总能实现在最佳条件下的磨削加工。
3.创造超镜面、超平面成为可能
砂轮轴及工件轴轴承采用非接触多面油静压方案内。通过优异的振动衰减性,实现没有平面抖动的超精密旋转和高精度的上下轴定位,创造出以往没有的超镜面和超平面。
4.加工面无倾倒的超高刚性结构。
通过高刚性床钢架结构设计,各轴极少单独切入和加工面倾倒。
5.可以测量晶圆厚度,进行自动加工。
自动加工、无尘室对应也可能。
可选地以±1μm精度测量工件厚度,可对应自动加工。而且也可以支持自动作业供应、洁净室规格(详细规格请咨询本公司总部营业处)。
超精密定压定量复合控制磨床的参数:
機種/項目 | ワーク最大径 | 上下軸ストローク | 揺動軸ストローク | ワーク軸最小単位 | ワーク軸回転速度 | 砥石軸回転速度 | 砥石サイズ(外径×内径) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | mm | mm | mm | min-1 | min-1 | mm | |
NSF-350 | φ150 | 150 | - | 0.0001 | 70?900 | 0?600 | φ350×30 |
NSF-600 | φ300 | 150 | 100 | 0.0001 | 70?600 | 0?600 | φ600×30 |
NSF-800 | φ380 | 約180 | - | 0.0001 | (70)?450 | 0?450 | φ800×40 |