成都真空厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备

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参考价: 订货量:
￥ 1000000 1件

具体成交价以合同协议为准
2023-11-13 11:29:57
238
属性：
产地:国产；售后保修期:12个月；销售区域:全国；
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产品属性
产地
国产
售后保修期
12个月
销售区域
全国
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成都汉普升科技有限公司

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surpass大口径干法刻蚀装备

详细介绍

 

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●Surpass系列 干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。

●特别说明：根据用户不同的工况和工艺要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权，公司致力于工艺与设备的匹配。


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