石英振动体清洗机
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石英振动体清洗机

W-357-1MQG-SKC石英振动体清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-05-15 08:17:58
580
属性:
产地:进口;超声波功率:12Ww;超声波频率:1MHzHz;界面语言:英文,日语;内槽尺寸(长×宽×高):240x140x100 (3L) *1mm;清洗槽数:单槽;售后保修期:12个月;外形尺寸(长×宽×高):180×250×100mm;销售区域:全国;重量:2.2kg;自动化程度:全自动;
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产品属性
产地
进口
超声波功率
12Ww
超声波频率
1MHzHz
界面语言
英文,日语
内槽尺寸(长×宽×高)
240x140x100 (3L) *1mm
清洗槽数
单槽
售后保修期
12个月
外形尺寸(长×宽×高)
180×250×100mm
销售区域
全国
重量
2.2kg
自动化程度
全自动
关闭
上海信良志商业有限公司

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产品简介

石英振动体清洗机采用下一代清洗技术,实现低损害和高清洁度
2006年,第一台石英振动体超声清洗装置投入实际使用。
在这种方法中,通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比,可以减少化学品的使用量,由于只有石英玻璃与液体接触,没有垫片等橡胶材料与液体接触,因此能保持较高的清洁度。

详细介绍

石英振动体清洗机的特点:

对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上,接触区的化学溶液振动,加速去除表面污染。
■清洁度高,对半导体晶圆的损害最小。
与使用橡胶材料(如垫片)的设备相比,使用石英与化学溶液接触,可以确保清洁,而不会有橡胶溶出。
■震荡器冷却功能通过用气体(如氮气)冷却震荡器,可以实现稳定的连续工作,没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化,从而延长使用寿命。

用途

胶体残留物的清除
封边和灰化后的聚合物清除
栅电极极清洗
CMP后的清洗


石英振动体清洗机的参数:
类型W-357-1MQG-SKC
振荡模式单频震荡
额定输出12W
标称震荡频率1MHz
电源输入AC100V~240V
单相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm
180×250×100 
(不包括凸出部分,包括橡胶脚)
质量2.2kg








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