荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

TEUS S-100荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

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100000 1

具体成交价以合同协议为准
2023-07-07 14:38:01
359
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产地:进口;售后保修期:12个月;销售区域:全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外;
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进口
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全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外
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上海屹持光电技术有限公司

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产品简介

ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在全qiu范围内获得专li。荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

详细介绍

荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

产品介绍:

ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。

ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在quan球范围内获得专li。

产品特点:

·高亮度以及出色的稳定性

·zui少的碎片

·ji高的正常运行时间

·高占空比和交钥匙操作

·用户友好的自动化协议,确保系统平稳运行,没有中断的风险。

产品应用:

·掩模和表面检查:

·图案掩模检测 (PMI)

·区域掩模检测 (AIMS)

·掩模空白检测 (MBI)

·EUV 扫描仪检

·材料科学

·晶圆检查

                                                                      TEUS 系列激光等离子体光源

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荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

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