硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪SIT-200

参考价: 订货量:
￥ 90000 1台

具体成交价以合同协议为准
2023-04-21 14:10:20
358
属性：
产地:进口；售后保修期:12个月；销售区域:全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外；
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产地
进口
售后保修期
12个月
销售区域
全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外
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上海屹持光电技术有限公司

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产品简介

硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。硅片厚度测量仪SIT-200

详细介绍

硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。

 

产品特点：

l  全光学，非接触硅片厚度测试

l  高动态范围测量粗糙表面

l  湿法刻蚀过程中实时测量

高灵敏度         高精度           快速测量        远程控制


                          结构示意图

SIT-200                                 

硅片厚度测量仪SIT-200产品参数：

测量目标

硅片

测量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm扫描

功率

0.6mw，Class1

指示光源

红光，Class1M

测量时间

20ms

重复性

0.1μm

输出监控

干扰信号（电学）

PC接口

网口

供电

100-240V，50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg

 


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