全自动匀胶机

产品介绍：

1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。

2）传动方式通过导轨丝杆传动。

3）主轴使用伺服电机，RS485通讯精确控制转速。

4）采用蠕动泵打胶，保证了定量滴胶，可节省光刻胶用量。

5）效率高，双轴运动方式，双轴独立控制上下料，降低等待时间。

6）设置灵活，多功能。通过一键设置，可将自动滴胶转换为手动滴胶。

7）热板控温方式为可控硅，自带超温保护系统，热板均匀性好。热板采用顶针升降，方便硅片烘烤。

                  *高转速                         5000RPM

                 转速精准度                    ≤1-4%RPM

     匀胶        滴胶手臂控制                  步进马达       

                 滴胶头位置精准                ≤0.2mm

该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-5寸晶圆涂胶、烘干，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为双轨道形式，上料、涂胶、烘干、取料。