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派瑞林parylene真空气相沉积设备又名派瑞林镀膜机、哌拉伦镀膜机,是用于电路板pcba、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、led/oled、传感器、微电子产品、电池、医疗产品、书籍画卷等产品镀膜的专用设备,与传统的三防喷涂设备不同,它采用了一种化学气相沉积工艺(cvd),沉积过程主要有以下三个步骤:
1. 真空环境,温度130℃条件下,固态派瑞林材料升华成气态。
2. 真空环境,温度680℃条件下,将气态双分子裂解成为活性单体。
3. 真空环境,常温下,气态单体在基体上生长聚合,形成致密的防护膜。
特殊的沉积过程决定了派瑞林parylene膜层厚度可以自由控制、膜层厚度整体比较均匀、膜层比较完整无薄弱点无针孔等特点,所以被涂敷后的产品膜层防护性能明显优于喷漆、环氧、电镀等传统三防工艺,防水、绝缘、耐盐雾、耐腐蚀的防护效果也更好,从而提高产品性能,延长使用寿命。
设备型号有HPC—300、HPC—960、VPC—508、VPC—960、VPC—1300等,设备可根据客户产品进行设计定制,以便提高设备空间利用率,降低产品单价。