隨著奈米時代的來臨，許多科技產業對精密度的要求已經從微米(micrometer)，次微米(sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外，振動會是首先必須面對的問題。 德國BILZ公司以40年的防振實務經驗，研發出氣電控制主動防振系統AIS(Active Isolation System)。

商品特色

• 可同時控制6個自由度方向振動。
• 理想的防振效益，無共振問題。
• 無論垂直向及水平向，均可得到的水平控制精度。
• 極小的動態位移量且動態穩定時間很短。
• 高效益的即時控制。
• 每個自由度均有獨立之快速控制元件，可精確控制定位、氣壓及加速度。
• 操作容易，對話式WinSNI軟體直接設定調整AIS系統。
• 兩種不同的控制模式，scanning mode及loading mode，可分別針對各種不同特性需求調整。
• 不需機器控制動作。
• 不受機器設備驅動之熱源及磁場影響。

商品應用

• 防振要求等級非常高，如VC-E。
• 設備水平定位精度要求高並要快速穩定。
• 避免共振影響。

AIS的推出已實際有效協助各科技產業解決所面臨的振動問題，如半導體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產業。
產品規格：需由顧客提供資料與環境測試再評估。