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所在地
| 项目 | NANOMETRO® 110F | NANOMETRO® 330F | NANOMETRO® 750F |
|---|---|---|---|
| 量程 | X:100mm Y:100mm | X:300mm Y:300mm | X:700mm Y:500mm |
| 综合测量精度 | 0.4μm | 0.6μm | |
| 重复测量精度 | 0.05μm(σ) | 0.1μm(σ) | |
| 显示分辨率 | 0.01μm | ||
| 测头 | 非接触激光位移计 | ||
| 最小数据周期 | 1μm | ||
| 测量速度 | 0.5~30mm/s | ||
| 轴、导轨 | 气动滑座 | 陶瓷制气动滑座 | |
| 驱动方式 | XY:伺服马达 | X:线性马达 Y:伺服马达 | |
| 工件重量 | 4kg | 50kg | 50kg |
