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采用高真直性的滚针导柱、X・Y方向重复定位精度±1.5µm以下!!
精密平台实现「超高速」「高刚性」「高精度」的三位一体。
采用电机直接连接凸轮驱动方式。实现令人惊异的高速定位。(100mm/sec)
精密平台将电机配置在内部。不会发生电机碰擦到外部零件、节省空间设计。 另外、上・下限节点及原点感应器也配置在内部。
1 采用艾塞路技术精密研磨的凸轮、达到稳定的精度定位 。
2 采用4支高精度・高刚性滚针方式导柱「滚针导柱」。成功兼容刚性和润滑。
3 搭载(株)ハーモニック・ドライブ・システムズ公司的超扁平・高精度AC伺服电动缸FHA-Cmini系列 。 实现了小型 、高出力・高精度 。
轻巧紧凑的轻量型和高真直性的高精度型2种标准式样。
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