产品名称：M-NanoCoord细微形状测量系统

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产品介绍

M-NanoCoord
细微形状测量系统
特点
• 能精确测量微小表面的形状(如MEMS 产
品、 电气设备、精密模、阳模、球面透镜
等)。
• M-NanoCoord 系列的每一型号均包含一台
开发的超高精度主机。
• M-NanoCoord 系列的每一型号均包含一个
作为标准配件的视像测头。
• 除了标准的视像测头之外，还可安装第
二测头。
两种测头可供选择
极低测力扫描测头，特别适用于非损伤地
测量软质工件；
极小测头的接触式测针UMAP103，特别适
用于测量微孔。