2021年12月9日，组织项目研制单位、推荐单位以及国内相关行业的专家采用视频会议的方式，对以成都太科光电技术有限责任公司牵头单位联合研制的 “超光滑表面无损检测仪”项目进行了项目绩效评价。专家组审阅了相关材料，听取了项目承担单位对项目总体的情况进行汇报，观看了项目仪器的测试视频。经过专家组的质询和讨论，一致认为该项目研制了φ150mm、测量精度20nm的超光滑表面无损检测仪产品，并扩展了φ300mm立式超大口径超光滑表面无损检测仪产品样机以及多功能系统分析软件，实现了实际应用。该项目完成了任务书规定的项目任务书目标和考核指标，达到了预期目标，通过了项目绩效评价。

图1 项目绩效评价视频会议现场

以成都太科光电技术有限责任公司为牵头单位，协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业的项目团队研制的超光滑表面无损检测仪，该仪器主要用于高精度非接触测量，可以广泛的应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统，如大型高功率固体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面形、材料特性等参数测量。

该项目的研制成功，可以实现超光滑表面无损检测仪器国产化，替代国外同类产品，打破国外公司的技术垄断和价格壁垒。项目仪器的研制将带动国内相关产业发展，超光滑表面无损检测仪将在半导体照明、太阳能新能源，高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路以及国家重大光学工程等相关行业和领域得到广泛的应用。改变现在采用的接触式测量方式，大大提高检测精度和测试效率，对于这些应用行业和领域具有巨大的带动和促进作用。项目产品如下图：

图 2 仪器产品样机成果

项目形成了高精度面形测试与宽范围基片表面参数无损检测、多功能测试兼容的超光滑干涉测试智能分析、12英寸晶圆参数测量等创新成果，申请了发明40项，发明19项，登记软件著作权3项，发布企业标准3项，形成了成套工艺质量文件，相关产品形成了市场销售。组织管理规范，管理制度健全，技术档案基本完整，发挥了“两组一委”的作用，培养了相关技术人员，形成了一支具有仪器研发、设计、集成、销售、服务能力的综合团队。

项目牵头单位成都太科光电技术有限公司是国内专业从事集高精度光学干涉检测仪器研发、生产和销售于一体的。公司具有一支从事光学设计、软件开发、机械设计、电子控制等专业齐全、产品研制经验丰富的专业研发与产业化团队。

同时感谢四川省、成都市和成都市高新区人才局等地方政府，对成都太科光电技术有限责任公司承担的《超光滑表面无损检测仪》项目都给予了极大的关注，对项目的发展也给与了极大的政策支持，保障了本项目的顺利完成！