三坐标测头校准是确保测量精度的基本，在校准流程中造成偏差的关键要素有：测杆的弯曲形变，校准时触测点部位，测力，触测速度和探测间距等，测力越小精密度越低，该选用相应的测力和测速开展校准，与此同时采用适合的探测间距，以确保校准精密度。
校验三坐标测头关键依据下边2个方面的缘故。

（1）坐标测量机测量零部件时，测量传感器安装使用的测针尾端是宝石球，球体与被测零部件表层触碰后触发测量数据信号。触发数据信号后，运动控制器将设备的现阶段坐标发送到测量软件，随后由软件将设备坐标测算到测球中心，最后再依据触测方位，偏离测球半径，以得到正确合理的测量点坐标，这一个能精确调整测球半径值的功能是几何测量机软件的一种关键功能。因为三坐标测头半径尺寸、安装使用尺寸等存有偏差，很有可能会干扰测量点的精密度，因此测量系统需要根据校验流程，来调整实际测针的半径值。