光谱分析就是根据物质的光谱来鉴别物质种类以及确定它的化学组成和相对含量的方法。物质本身可以发射光产生发射光谱，也可对光产生吸收和散射而形成吸收光谱。于是我们利用这些*现象即可对物质组分及含量进行分析。

这种方法的优点是:具有的灵敏度和准确度。例如，在检测半导体材料硅和锗的纯度时，要求对其杂质进行检测，在检测过程中发现某些杂质元素质量在0. 1ng/g时,都可以检测出来，也就是说发现该杂质元素的特征谱线存在。

从广义讲，各种电磁辐射都属于光谱，一般按其波长可分为:

γ射线      0.00005-0.14nm;

X射线     0.01~ 10nm

微波波谱   0.3~ 1mm

而光谱区可分为:

真空紫外区    10~ 200nm

近紫外区      200~ 380nm

可见光谱区    380~ 780nm

近红外光谱    780nm~ 3pm

远红外光谱    3- 300pm

光谱分析应用的元素波长，大部分在真空紫外区和近紫外区最多。