主要配置

• 标刻速度：4000mm/s

• 定位速度：10000mm/s

• 跟踪误差：0.25ms

• 非线性度：<3.5mrad/44°

• 重复精度：<8μrad

• 1%全行程：≤0.4ms

• 增益漂移：<50PPM/k

• 零位漂移：<15μrad/k

• 8小时漂移：<0.3mrad

• 扫描角度：±0.35rad

• 镜片光斑：10mm

• 接口协议：XY2-100

• 供电：±15VDC，3A

• 工作温度：25℃±10℃

• 加工幅面：150(可更换场镜)

• 扩束比：1.4/3

• 波长：1064nm、532nm、355nm

• 入射光斑：7mm、7mm、3mm

• 变焦范围：光纤 ±30mm(搭配 F254-174场镜数据)
                     绿光 ±7mm(搭配F165-115场镜数据)
                     紫外 ±15mm(搭配F254-175场镜数据)