連續式真空濺鍍設備(In-Line SPutter)及卷繞式真空鍍膜設備 (Roll to Roll Sputter),主要應用於觸控面板、減反射蓋板玻璃及薄膜太陽能相關製程,依不同需求提供客製化設計、製作與售後服務。
連續式真空鍍膜設備-卷繞式鍍膜
特點:
- 製程腔main Drum溫度可調整-20~80℃
- 多段式氣管設計,鍍膜均勻性佳
- roller 特殊設計、有效防止皺摺產生
- 收料區使用尋邊控制器,有效控制偏擺問題
- 遮板使用快拆設計,維護容易
應用:
- 薄膜光學材料:AR、IR、UV、建築材料
- 導電材料:觸控產業、軟式光電產品
- 光學轉換材料:PV Cell、熱吸收