多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)-先鋒科技股份有限公司手机版

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橢偏儀
theta-SE 多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的空間中配備了先進的橢偏量測與電控平台，達到多點量測wafer的功能，藉此測得多點橢偏參數，與多點的薄膜厚度和折射率數值。具有體積小、數據快速取得、光斑小、軟體操作介面容易等特點，為的多點量測橢偏儀。
多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)特點

體積小
數據取得快速
非破壞性量測
同時分析厚度，折射率，消光係數
小光斑橢偏儀
軟體介面容易操作，內建模型完整
的多點量測橢偏儀
波長範圍400nm to 1000nm，即時分光

多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)應用

VCSEL量測
氧化物/氮化物薄膜量測
金屬氧化層量測（較薄可透光的金屬）

橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)

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