GAS00-160LC

160x160

170x170

±3 x ±3

±2°

30

UP：±1 
P：±5

GAS00-190HC

190x190

210x210

±4 x ±4

±3°

65

UP：±1 
P：±5

GAS00-200HC

200x200

350x350

±7 x ±7

±3°

130

UP：±1 
P：±5

♦ 採用了划时代性模组结构的超薄型平台

在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之*性，实现了超薄型结构。

♦ 高刚性、高精度

对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。

♦ 超薄型、轻量化、中空结构

採用XYθ模组化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。

♦ 润滑系统

在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。

♦ 尺寸齐全 适用各种机型运用

工作台面尺寸口100mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模组之数量来达成。

♦  面板貼合機

♦  面板貼膜機

♦  網版及3D網版印刷

♦  玻璃側角及磨邊設備

♦  Wafe對位設備

♦  P.C.D曝光設備

♦  軟體裁切設備

♦  半導體設備

結構說明

动作原理