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应用
•驱动薄膜卡盘的专用油缸
技术特点
•油缸两个腔体的活顶尖塞面积设计成大/小不同的，用于卡盘的松开/夹紧
•压力范围：大面积（用于卡盘松开）3-70 bar；小面积（用于卡盘夹紧）3-36 bar
•可选1通路或2通路旋转接头
•配直线位置检测系统（LPS-XS不包含），用于监测活塞的位置
•中心通孔用于冷却液、油或空气的输送，并且带有用来安装旋转接头的螺纹
•安装方式：螺钉从后面固定
•液压系统过滤精度要求：10 μm
•液压油：HM32 ISO 3448
