SHP8400 PMS过程气体质谱分析仪仪器特点

l动态、连续取样，实时、在线气体分析；响应速度快，数据分析功能强大。

l有机架式和台式两种机型可选，充分考虑到在线分析的需要。

l采用电磁阀或多通旋转阀进行过程中的多气路切换，实现多点、多组分自动监测，结构轻巧，方便快捷。

l采样和前处理装置可根据需求量身定制，方便实现调压、过滤、除湿、加热等功能。

l可控制温度的进气管道，防止过程气体在采样过程中冷凝。

l双灯丝，并配有灯丝保护装置，大程度的延长灯丝的使用寿命。

l快速自动校准，包括背景校准、碎片校准、电离灵敏度校准。

l人性化的任务管理功能，用户可以自定义设置分析任务。

l结果数据输出采用DDE和OPC方式，与其它软件系统优异兼容。

l具备网络接口，可实现远程控制。

SHP8400 PMS过程气体质谱分析仪技术参数

l质量数范围：1-100 amu，1-200 amu，1-300amu

l响应时间：ms

l小检测分压：5×10-11 Torr（FC）

                               5×10-14 Torr（CDEM）

l检出限：≤10ppm（FC）

l操作温度：≤70℃

l取样压力：≤5 bar（有特殊需求者可订制）

l质量分析器：四极杆（Quad）

l检测器：法拉第筒（FC），电子倍增器（CDEM）可选

l离子源：电子轰击 （EI）源;

硬件结构

l结构精巧的多通道电磁阀实现进样的自动控制。体积小，切换速度快，且通道数目可按用户需求增减；利用辅助泵缩短气体滞留时间，确保的分析结果。

l多通机械旋转阀死体积小，质量可靠。

l电子轰击离子源，通用性强、谱图结构信息丰富。

l精加工的四极杆质量分析器和高精度安装调试技术保证近轴电场稳定，达到水平。

l系统内部合理优化的散热流路设计。

l分子泵和质量分析器采用不同的减震措施，确保仪器运行的高可靠性。

l真空系统依不同应用领域需求不同配置。

软件功能强大

l新一代用户界面（Fluent/Ribbon界面）：降低用户操作难度，减少培训时间。

l全面的标准化和开放性：软件的数据储存格式和内部交换格式均采用通用的工业标准（xml和csv）；数据发布采用DDE、OPC两种方式。

l引入“方法”和“任务”概念，实现分析过程全盘自动化。

l软件的开发基于舜宇恒平仪器的统一仪器软件开发平台SHPS1.2。

l支持长时间不间断在线分析。

l多路进样通道、通过自动方法切换，支持多路不同样品同时在线检测。

在线气体处理装置

在线分析器长期连续、实时的检测分析，必然要求取样的连续性和严格的样气处理技术，要求样气的真实和传输快速，使得样气在进入分析器时，要达到近于标准气的品质。由上海舜宇恒平科学仪器有限公司生产的在线样气处理装置，确保在线分析系统长期连续运行的可靠性和安全性，以及近于免维护的易维护性。

l创新的多通道样气处理技术

l自动化程度高，反应速度快

l具备除尘、除湿、除泡沫、加热及调压功能

l特殊要求（如防爆、冷凝除湿、冶金行业应用等）及通道数目可订制

应用领域

半导体行业/冷媒检漏

真空检漏

石油化工

冶金炼钢

环境监测