设备型号

NB200V

设备外形尺寸

870*1210*2016mm（深*宽*高）

石英管结构

立式

炉管尺寸

外径200/内径190/长600mm

恒温区尺寸

Φ200*L200mm

加热区

Φ200*L400mm

加热元件

红外加热管

测温元件

N型测温传感器（欧米茄）

控制段数

30段

控制精度

±1℃

极限温度

≤1000℃

工作温度

≤900℃

升温速率

≤90℃/Min

冷却方式

水冷（法兰、分子泵）

制冷机

CW-5200

驱动方式（自动）

电动（炉管/炉体升降、开关门）  气动（真空阀门）

取放料方式

载料台采用固定不动的方式，由石英管和炉体上升控制

真空抽速

600L/S

极限真空度

3×10^-4 pa(空炉、冷态经净化)（真空系统开启后45min到达）

工作真空

6*10-3pa（真空系统开启后20min到达）

控制方式

自动/手动  PLC控制

PLC

西门子

主要电气配件

施耐德

数据传输端口

1个

数据传输容量

不小于16G （U盘）

隔热方式

金属屏镜面反射+料盘

人机界面

10寸触摸屏

整机功率

AC 380V  22KW

总质量

550KG