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超精密气静压平面数控磨床
“ZCS-QPM250超精密气静压三轴气浮数控平面磨床” ，采用气静压砂轮电主轴，X/Y二轴高精密气浮导轨。台达PLC、台达伺服电机和驱动器组成伺服驱动系统。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具体参数如下：
一、技术特点：
该磨床采用气静压砂轮电主轴、X/Y二轴高精密气浮导轨，Z轴（砂轮轴）采用高精度光栅尺数显系统，三级精密过滤器组成超精密气静压平面磨床的加工轴系。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。
工作台的前后运动机构采用精密滚珠丝杠加台达PLC和伺服电机驱动控制系统，具备缓冲换向功能。磨头上下采用手动进给。具有快进、慢进、微进给，自动、手动功能，操作方便、灵活可靠、无振动、精度稳定、热稳定性好、噪声低、维护保养方便等特点。
X/Y二轴采用高精密气静压(气浮)导轨，具有高承载、高精度，高平稳性，无摩擦，长寿命等性能。
砂轮主轴采用台达系列变频控制器实现无级调速。
该磨床在气路、水路进口处加有压力传感器，具有过流、过载、气压低下限、以及冷却水断流等故障报警保护功能。
二、超精密气静压平面数控磨床整机主要技术参数表
| ZCS-QPM250超精密气静压平面数控磨床 | ||||
| 项目 | 单位 | 尺寸 | ||
| 工作台 | 台面行程（宽*长） | mm | 250*500 | |
| 磨削尺寸（宽*长*高） | mm | 260*580*380 | ||
| 工作台（X轴）纵向行程（伺服电机驱动） | mm | 550 | ||
| 工作台（Y轴）横向行程（伺服电机驱动） | mm | 250 | ||
| 工作台(X轴）纵向移动速度（无级调速） | m/min | 3-20 | ||
| 手轮每转进给量 | 最小垂直进给 | mm | 0.001 | |
| 最小横向进给 | mm | 0.001 | ||
| 工作台T型槽（槽数*槽宽） | mm | 1*14 | ||
| 工作台承载量 | kg | 280 | ||
| 磨头 | 砂轮轴中心线至工作台面距离（上下电动快升快降） | mm | 470 | |
| 磨头垂直进给最小量 | mm | 0.001 | ||
| 128万线台达高精度伺服电机驱动系统最小分辨率 | mm | 0.0001 | ||
| 砂轮轴转速变频调速 | r/min | 0-4000 | ||
| 砂轮尺寸（外径*宽*内径） | mm | ∮200*20*∮31.75 | ||
| 砂轮电主轴径向跳动 | mm | 0.0001 | ||
| 砂轮电主轴动态全速度范围内振动量 | mm | ≤0.3mm/s | ||
| 工作精度 | 加工表面对基面的平行度 | um | 100:0.5 | |
| 表面精糙度 | um | Ra0.1 | ||
| 导轨 | X高精密气静压（气浮）导轨承载力 | kg | 2000 | |
| Y高精密气静压（气浮）导轨承载力 | kg | 1000 | ||
| 机床重量 | 毛重 | kg | 1100 | |
| 净重 | kg | 1000 | ||
| 外形尺寸（长*宽*高） | mm | 1700*1300*1800 | ||
| 机床总功率 | kw | 5 | ||
