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安装 | 雷尼绍自动吸附:PH10M、PH10MQ或PH6M 可安装在自动吸附加长杆上 |
适合的接口 | 可以是:UCC控制器 或:用于未安装UCC控制器的机器的AC3计算机接口卡 |
测头属性 | 三轴模拟测量 (X, Y, Z) SM25-5:在三个轴XYZ方向均有平面平移 |
测量范围 | 在X、Y和Z方向为±0.5 mm SM25-5:±0.3 mm |
超程范围 | 在X和Y方向为±2.0 mm SM25-5: |
碰撞保护 | X, Y, –Z — 模块或测针架折断 +Z — 内置缓冲块设计 |
分辨率 | 使用UCC2子卡或AC3接口卡时< 0.1 μm |
弹簧刚性 | 标称值为0.2 N/mm到0.6 N/mm,取决于测针长度 |
减振 | 单个粘性流体减振器 SM25-5:两个粘性流体减振器 |
电源 | 测头为+12 V (±5%)、–12 V (+10% / –8%)、+5 V (+10% / –13%) 直流电 |
输出 (X,Y,Z) | 非线性及非正交模拟输出 — 速率、增益和分辨率不固定 |
测针系列 | M3 |