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1. MCV-5003激光多普勒干涉仪 MCV-5002激光多普勒干涉仪加上RT-100A自动测量转台而组成MCV-5003激光多普勒干涉仪。 2. MCV-5003主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)第四轴、第五轴回转精度测量 7)两导轨平行度测量
功能选型：激光多普勒干涉仪
MCV-5003激光多普勒干涉仪 *的“双激光头分体设计”，专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能，是大型机床研发制造和大型机构科研计量的。适合数控加工，数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。
| MCV-5003基本技术参数 | 激光频率稳定性 | ±0.05ppm |
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| 氦氖激光管 | 2级 |
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| 激光输出功率 | ＜1mW |
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| 激光管寿命 | 40000小时 |
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| 空气温度传感器精度 | ±0.1 ℃ |
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| 空气压力传感器精度 | ±1.1mmHg |
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| 材料温度传感器精度 | ±0.1 ℃ |
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| 环境温度（湿度） | 5-38 ℃（0-95％） |
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| 电源电压（电源频率） | 90-265V（50-60Hz） |
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| 线性位移测量 | 测量距离 | ≥30m（60m,100m可选） |
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| 分辨率 | 1nm |
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| 精度 | ±0.5ppm |
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| 速度 | 5m /秒 |
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| 主从动轴同步性检测 | 数据采样速率 | 1-1000个数/秒 |
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| 角偏(俯仰角、偏摆角) | 测量距离 | ≥30m（60m,100m可选） |
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| 分辨率 | 0.2秒 |
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| 精度 | ±0.2%±0.2 秒 |
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| 测量范围 | 角度：±10 度 |
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| 速度 | 4m /秒 |
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| 直线度测量 | 测量距离 | ≥30m（60m,100m可选） |
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| 精度 | ±0.2%±0.01 微米 |
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| 测量范围 | ±1000 微米 |
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| 速度 | 4m /秒 |
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| 向量法体对角线检测 | 分辨率 | 1nm |
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| 精度 | ±0.5ppm |
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| 测量范围 | 3m×2m×1m |
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| 速度 | 4m /秒 |
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| 可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差 |
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| 垂直度检测 | 用SD附件 | 同上 |
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| 转台测量 | 转台测量分辨率 | 0.02秒 |
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| 转台测量精度 | 1秒 |
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| 测量范围 | 0-360度 |
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| 两导轨平行度检测 | 距离 | ≥30m（60m,100m可选） | ||
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| 分辨率 | 1nm | ||
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| 精度 | ±1ppm | ||
