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具体型号 | VMS250 / VMS300 / VMS400 / VMS500 |
(X/Y/Z轴) 量测行程(mm) | 250*150*200 300*200*200 400*300*200 500*400*200 |
全机尺寸(mm) | 800*500*1650 980*650*1650 1160*800*1650 1260*900*1650 |
机台底座和立柱材料 | 高精度天然花岗石 |
CCD | 41万像素3DFAMILY彩色 |
X,Y轴量测精度 | （3+L/200）μm |
放大倍率 | Step Zoom光学放大率：0.7X-4.5X，影像放大率：28X-180X |
光学尺解析度 | 1 μm |
重复性 | 2 μm |
操作方式 | 手动 |
电源供给 | 110/220V |
合适温度，湿度 | 温度：19°--24°，湿度：45%--75% |
保修期 | 1年 |
