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Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr 点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、 交点到圆心的距离等）、点、点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、 直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数 X轴 Z1轴 取 样 长 度 L 评 定 长 度 测量行程长度 X轴（横导轨） Z1轴（传感器） Z轴（立柱）测量项目 粗糙度 部分 轮廓仪 部分 粗糙度 测量范围 RA：0.005μm—16.00μm ±20μm、±40μm、±80μm 0.25mm、0.80mm、2.50mm、自动 1L—5L(可选 L为取样长度) 3L—7L(可选 L为取样长度) 轮廓仪 测量范围 150mm 50mm 400mm 粗糙度 测量精度 示值误差 1 0.001μm 示值误差 2 ≤±7％ 轮廓仪 测量精度 X轴(L=X轴导轨移动距离) ±(1+L/300) μm Z1轴(H=Z1轴方向测量高度) ±(0.8+6H/100) μm X轴水平臂 直线度 0.15μm /60mm 光栅分辨率 0.1μm 光栅产地 进口 Z1轴传感器 分辨率 0.05μm 传感器类型 数字传感器 产地 进口 移动方向 前/后 双方向 测力 0.01-0.06N 测针针尖 硬质合金 R：0.05mm、0.01mm 爬坡角度 上升77度 下降88度 粗糙度 速度 驱动行程长度 17.5mm/0.71 inch 最小驱动行程长度 1.3mm/0.052 inch 轮廓仪 速度 测量速度 0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个) 定位速度 0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个) 图形放大/缩小 图形放大 可任意缩小、放大 综合调整台 A型综合调整台 X轴水平倾斜调整范围：±30°，Y轴方向调整范围：±7.5mm，Z轴回转可调360度 B型综合调整台 X轴水平倾斜调整范围：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度 安装要求 电源 220-240V AC, 50HZ，单独地线；功率消耗450W 压缩空气 纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m³ /min （气源供给0.6MP，0.25m³ /min以上） 环境要求 工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源
