型号:DCM

品牌：日本UNION

DCM-40/60 是一款特殊的工具显微镜，设计的目的主要是用来观察晶圆的顶部和底部是否重合DCM-50/60, 它可以在一个显示器屏幕添加两个模式进行对比。它们之间的任何差异都很容易被检测出来，同时数量的差异也可以通过计数器来测量。
可提供的物镜放大倍数(5X, 10X, 20X, 40X), DCM-40/60 适用于各种材料的测量。

DCM-40 测量晶圆的厚度为4英寸。
DCM-60 测量晶圆的厚度为6英寸。

测量方法 :

A 将开关旋钮调至Top & Bottom档,将光学轴的顶部和底部调整至校正图标上重合。









B 将晶片放在工作台上,将光轴转换按钮调至TOP位置。镜头将聚焦于晶片顶部的表面。








C 将光轴转换按钮调至Bottom位置,镜头将聚焦于晶片底端的表面。






D 将光轴转换按钮调至Top & Bottom位置,看看两部分是否*重合,确定错位的距离,若有的话,用物镜的十字线去标识然后计数器去测量。






主要特点：

1)光轴的上下部很容易对齐。.
2)DCM-40/60 有各种型号的工作台。.
3)配有CCD作为视图工具。 可以通过显示器观察样品和拍照。(有两种CCD可供选择，同时CCD的适配器也可供选择。)
4)可以观察顶部或者底部的单一面


规格：

适用范围：

重叠的通孔

重叠的电极片