激光尺-传感系统-科德数控股份有限公司手机版

详细介绍

02 应用案例及领域

科德数控股份有限公司生产的KGHM2560U高速桥式龙门机床，X轴全行程6m，配置LE系列激光尺作为全闭环反馈，定位精度达到6um，重复定位精度达到3um；

LE系列激光尺可用于精密机床、半导体精密加工设备、测量机等其他需要高精度直线位置反馈的应用场合。

项目	名称	参数
性能参数	激光频率稳定度线性定位精度分辨率测量速度测量距离	±0.05ppm ±0.5um/m（±0.5ppm） 1nm 可配置 4m/s 20m
工作条件	工作温度工作压力工作湿度	0℃~40℃ 60KPa~120KPa 0%~95% 非冷凝
激光参数	激光波长激光功率激光稳定时间出射光斑直径	632.8nm ＜1mw ≈10min 6mm
环境补偿传感器	环境温度测量精度大气压力测量精度大气湿度测量精度材料温度测量精度	±0.1℃ ±100Pa ±5% ±0.1℃
电气特性	电源电压电源电流调试接口位置数据反馈接口通用I/O接口	24V±10% 2.0A USB RS422/RS485 串行数据：BISS_C 增量数据：TTL增量方波、1Vpp弦波 24V带隔离通用I/O点