特征： 应用：

***行程4m x 4m 半导体设备

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台 自动化搬送

良好接地设计防止杂讯干扰 FPD设备

Z向震动可达奈米等级以下 太阳能製造设备

***速度可达5m/s PCB设备

标准重现精度1um或以下 水刀设备

位置回馈系统解析度***可达50nm 。 鑽石切割产业
AOI检测设备
工具机