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| 技术指标 | 数据 |
| 负载（Kg） | X轴：100 Y轴（双驱）：350 Z轴：35 |
| 大速度（mm/s） | X轴：1000 Y轴（双驱）：1000 Z轴：250 |
| 大加速度（G） | X轴：1 Y轴（双驱）：1 Z轴：0.05 |
| 有效行程（mm） | X轴：980 Y轴（双驱）：1500 Z轴：50 |
| 重复精度（μm） | X轴：±2 Y轴（双驱）：±2 Z轴：±3 |
| 定位精度（μm） | X轴：±5 Y轴（双驱）：±5 Z轴：±5 |
| 平面度（μm） | X轴：±15 Y轴（双驱）：±15 Z轴：±3 |
| 直线度（μm） | X轴：±4 Y轴（双驱）：±4 Z轴：±3 |
| 驱动方式 | X轴：直线电机 Y轴（双驱）：直线电机 Z轴：滚珠丝杠+伺服电机 |
| 反馈方式 | X轴：光栅尺 Y轴（双驱）：光栅尺 Z轴：光栅尺 雷尼绍 分辨率0.1μm |
| 防尘方式 | X轴：无尘钢带 Y轴（双驱）：无尘钢带 Z轴：无尘钢带 CLASS10 |
