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面议直线电机
CFX22M
驱动方式：线圈C1/线圈C2
编码器：磁删尺/光删尺
高速度“1“2：5000(mm/s)
大加速度"2：5(g)
大可搬重量 水平使用：36.1/76.3(kg)
分辨率：1/5(um)
峰值推力：516/1032(N)
连续推力：119/238(N)
标准行程：80~3200/间隔80(mm)
使用温度：0-40(mm)
