具体型号

VMS250

(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

250*150*200

全机尺寸(mm)

1000*650*1650

X,Y轴量测精度

（3+L/200）μm

放大倍率

光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光学尺解析度

1μm

测量系统

OVM Lite

重复性

2μm

操作方式

手动

CCD

3DFamily-L 41万像素，彩色

机台承重量

30KG

具体型号

VMS300

(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

300*200*200

全机尺寸(mm)

1000*650*1650

X,Y轴量测精度

（3+L/200）μm

放大倍率

光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光学尺解析度

1μm

测量系统

OVM Lite

重复性

2μm

操作方式

手动

CCD

3DFamily-L 41万像素，彩色

机台承重量

30KG

具体型号

VMS400

(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

400*300*200

全机尺寸(mm)

1000*650*1650

X,Y轴量测精度

（3+L/200）μm

放大倍率

光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光学尺解析度

1μm

测量系统

OVM Lite

重复性

2μm

操作方式

手动

CCD

3DFamily-L 41万像素，彩色

机台承重量

30KG

电源供给

110/220V，50/60HZ，240W

保修期

1年