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特点:
1.行程大,测量范围更广
2.自主开发QMS3D软件,可满足客户不同测量需求
3.具有快速自动对焦、自动寻边,强大的编程和自动测量功能
4.采用亚像素细分技术,提高边界分辨能力
5.配置操纵手柄,亦可软件程控
6.SPC数据处理分析,大批量治具测量
7.X、Y、Z三轴伺服控制,定位精度高速度快,运行平稳
8.采用自主开发的嵌入式模块控制系统,将复杂的控制系统集成于仪器内部,稳定性更高
9.程控恒流驱动式八区表面冷光光源,可适应复杂的工件测量
10.X、Y向导轨采用高精度花岗石,具有高稳定性及刚性,不易变形
11.X、Y向移动的部份采用低摩擦,高速度,高精度的气浮移动导向系统
12.采用同布带或丝杆传动,精度高,稳定性好
13.花岗石直线度和玻璃平面度好,花岗石导轨无摩擦、不磨损
14.可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置,快速定位,方便快捷
技术规格参数:
长度单位:mm | |||
参数/机型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
工作台 | X,Y轴行程 | 640×770 | 640×1070 |
Z轴行程 | 200调焦及辅助测量 | ||
玻璃台尺寸 | 640×940 | ||
工作气压 | 0.4MPa±0.02 | ||
数字测量系统 | 光栅尺分辨力:X、Y、Z轴0.0005 | ||
0.7~4.5×变焦镜头,总视频放大倍率为20~128× | |||
X,Y轴马达运动速度 | <300mm/s | ||
Z轴马达运动速度 | <50mm/s | ||
仪器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
仪器重量(Kg) | 1281 | 1500 |