ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌。白光轮廓仪广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域，用于表面形貌纹理，微观结构分析。

    ZYGO 有三个型号标准白光干涉轮廓仪，Zegage，NewView，Nexview，它们设计理念各有不同，配合各类附件，能良好满足各种场景，各类环境下的不同应用需求。

ZYGO 白光轮廓仪的共有特点和优势：

·             ZYGO SureScan™大幅减小了环境振动的影响；还可以降低高精度量测时的噪声，提高超光滑表面的测试精度。

·             ZYGO SmartSetup™，自动对焦样品表面，自动智能配置测试参数，使原来麻烦的“找条纹”，“选择测试参数”过程，在一分钟之内，自动完成

·             ZYGO全系列白光轮廓仪，都包括自动防撞功能，”心细如发“，“一触即止”，能*大程度保护样品和设备的安全。

基于以上ZYGO共有的功能，每一款白光轮廓仪又有什么自己的特点呢？今日小Z就和各位亲聊聊：

如何选择ZYGO白光轮廓仪

ZeGage™系列

1.6K*1.2K像素，1X光学缩放，

SureScan™采样；

可选手动调整，或3轴（Z，XY平移）自动调整样品台；

表面形貌重复性(STR);

ZeGage™Pro     3.5nm

ZeGage™Pro HR  0.15nm

ZeGage™桌面型光学轮廓仪,结构紧凑，稳定可靠。它采用一体化结构设计，配合ZYGO SureScan™抗振采样模式，可以无需气浮抗振台，直接置于桌面，在生产环境中量测。

·             ZeGage™ 系列有两种型号，都具有较高性价比。ZeGage™Pro表面形貌重复性(STR)3.5nm，适用于精密机械，材料学，摩擦磨损等纳米级测量；ZeGage™Pro HR表面形貌重复性(STR) 0.15nm，可以量测亚纳米级超光滑表面。

·             ZeGage™可选增高架构，用于测量更大尺寸的样品；还可以选用3轴（Z，Tip/Tilt倾斜俯仰）自动调整样品台，具有拼接测量及一定编程自动化测量的能力。

Newview™9000

1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X 目镜；

CSI, SureScan™, SmartPSI采样；

可选手动调整，或5轴（Z，XY平移，Tip/Tilt倾斜俯仰）自动调整样品台；

手动孔径光阑，及视场光阑；

Newview 表面形貌重复性(STR) 0.08nm

Newview™9000是ZYGO应用*广的高性能光学轮廓仪，配合丰富的配置及附件，满足多样化应用需求。

·             Newview™9000150um范围使用压电陶瓷闭环扫描，表面形貌重复性(STR) 0.08nm，可以满足苛刻的超光滑表面测试需要。

·             Newview™9000光学系统包括孔径光阑，及视场光阑；可优化光学成像质量，适用于不同样品表面纹理和微结构。

·             Newview™9000采用分立龙门架构，可以通过标准垫块附件，抬高测试头，来测试超大超高样品。

·             Newview™9000可选5维全自动样品台，配合ZYGO脚本编程工具，自主开发工业自动化测试流程。

Nexview™  NX2 

1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X目镜；

CSI, SureScan™, SmartPSI采样；

标配5轴（Z，XY平移，Tip/Tilt倾斜俯仰）自动调整样品台；

全自动孔径光阑，及视场光阑调整；

Nexview™  NX2  表面形貌重复性(STR) 0.06nm

Ture Color样品表面彩色3D形貌测量

Nexview™  NX2是ZYGO光学轮廓仪系列中，测试精度*高，功能*全，整机*自动化的型号；NX2专为*挑战应用设计制造。

·             Nexview™ NX2 150um范围使用压电陶瓷闭环扫面，表面形貌重复性(STR) 0.06nm，是ZYGO光学性能，噪声系数*优的型号，可以满足*苛刻的埃级超光滑表面测试需要。

·             Nexview™ NX2覆盖了其它ZYGO白光轮廓仪的所有功能；此外还TureColor样品表面彩色3D形貌测量能力。

·             Nexview™ NX2同样采用分立龙门架构，可以通过标准垫块附件，抬高测试头来测试超高样品。

·             Nexview™ NX2实现了整机*自动化，从塔台，样品台，到光学系统光阑控制，全部软件可编程；配合ZYGO脚本编程工具，Nexview™  NX2可以实现*自动化测试。