1.芯明天放大机构式压电纳米定位台

压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台，X 轴，XY 轴，XYZ 轴多维压电平移台，驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下，机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍；直驱平台的响应速度要比机构放大平台的速度快。压电平移台的运动行程范围zui大可达 300μm，且它具有纳米级分辨率以及毫秒级的响应时间。在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，且应用非常广泛，例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。

2.芯明天放大机构式压电纳米定位台p11’

P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台，P11.Z为一维压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体的结构设计，多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现110μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有良好的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。

3.一维压电纳米定位台特性

• 一维Z轴运动 • zui大行程110μm，可选择210μm、320μm版本

• 体积小巧 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度

外观形状	产品运动示意图	放大机构式驱动示意图