要了解手动测量仪的测量精度，就必须了解视频测量仪的误差来源。影像测量仪上的测量是单轴或二维平面坐标的测量。测量时，先对焦，再对齐，读取（计数），然后计算处理。读数来自标尺，即光栅系统，聚焦依赖于光学成像系统，还有直接影响测量效果和精度的照明光源，因为，对于成像法测量的仪器，如果被测物体不能得到有效、正确的照明，则测量结果明显偏离其真实尺寸。除上述因素外，环境条件也是制约测量精度的因素，不容忽视。基于以上分析，可以总结出以下几个方面的误差来源。

1）光栅尺计数误差；

2）工作台移动时直线度和角摆造成的误差；

3）工作台两个测量轴的垂直度误差；

4）镜片光轴与工作台不垂直带的误差；

5）测量环境温度变化引起的误差；

6) 光源照明条件变化引起的对焦和对准误差。

在这些因素中，前四个误差为硬件误差，在影像测量仪的制造过程中已经形成并固定，一般无法改变。以减少其影响。然后一项经常被忽略。在实际测量中，当光源的光照条件发生变化时，直接影响到被测工件的光照效果和图像质量。如果图像测量仪的图像是通过CCD接收的，虽然CCD具有自动调节增益的功能，但是当亮度过高时，就会失去调节功能，导致工件的图像缩小到被测量。当亮度过低时，工件的图像会变大。

这种影响，在测量重复图案结构之间的间距时，只要光照条件在整个测量过程中保持不变，就可以忽略，因为每个重复图案结构同时变大或变小，间距的测量可以忽略.计算直接消除了图像变形的影响，如测量玻璃尺、格板间距；除此特殊情况外，如测量圆的直径、工件的长度和宽度，都会带来明显的误差。