岛津X射线荧光光谱仪XRF-1800/XRF-1500/1700系列X射线荧光光谱仪开发出微区分析/分布分析功能，并采用了4KW薄窗X射线管，扩大了X射线荧光分析的应用领域。
扫描型X射线荧光光谱仪XRF-1800型从仪器的硬件与软件在许多细节都进行了改进，使得仪器的可靠性与可操作性进一步提高，增加了250μm微区分布成像分析功。

· 在波长色散型装置中，250μm微区分布成像分析功能。
可分析不均匀样品的含量分布、强度分布。
稀 土元素矿石的XRF-1800成像分析实例
· 利用高次谱线进行准确的定性/定量分析
高次谱线的判定更加准确，提高了定性定量分析的准确度/可靠性。
利用XRF-1800的高次谱线分析刹车片实例
· 测定高分子薄膜的膜厚与无机成分分析的背景基本参数(BG-FP)法
利用康普顿散射/瑞利散射的强度比计算出荧光X射线分析不能得到的氢（H）元 素的信息。高分子薄膜分析中，利用康普顿散射线的理论强度作为高分子薄膜 的信息。
使用XRF-1800进行的膜厚测定、薄膜测定实例