GNX200B_OKAMOTO晶圆研磨机 衡鹏供应

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2021-06-11 14:24:31
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深圳市衡鹏瑞和科技有限公司

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产品简介

·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。

详细介绍

GNX200B_OKAMOTO晶圆研磨机 衡鹏供应
 
 
OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机特点:
·GNX200B拥有BG贴膜研磨技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。
·耗材损耗小,成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。
 
 
 
OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B规格:
规格                     GNX200B     
MAX加工直径     Ф200     
轴承旋转数     0~3600min-1     
轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P    
轴承进给速率     1~999μm/min
主轴数                     2
工作轴旋转数     1~300min-1
轴承尺寸(外径)          Ф250    
质量                     3900mm     
 
 
 
 
 
 
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