真空锁定洁净室专用万向球
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济南市所在地
济南元田精密机械有限公司
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(1) 为防止刮伤玻璃基板,ISB采用Dupont的Vespel及PBI、PEEK等具有代表性的工程树脂材料。
(2) 能够抑制微粒粉尘产生,体现ISB*的洁净技术。
(3) 根据使用环境要求,可提供多样化的脱脂洗净方法。
洗净方法1:个别部件用有机溶剂洗净。
洗净方法2:所有部件用*超声波洗净。
(4) 玻璃基板定位时的摩擦系数仅为Pin支撑方式的1/10。
(5) 与滑动摩擦的Pin支撑相比,滚动摩擦的万向球寿命更长。
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