. 设计精密，结构坚固，重量轻，易于安装及维护；
2. 空气冷却（气冷式）；
3. 值结式驱动,可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗；
4. 含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外；
5. 进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流；
6. 低震动,不需用基础螺拴固定泵浦；
7. 运转声音小；
8. 具气体压载阀,可适用於蒸气之制程；
9. 即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口*排出,而不会在泵浦内发生凝结.
它的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。
用途范围