蔡司扫描电子显微镜Sigma560

　　高吞吐量分析。自动化原位实验。

　　真实样品的高效分析：基于 SEM 的分析具有速度和多功能性。

　　使您的原位实验自动化：用于无人值守测试的全集成实验室。

　　对 1 kV 以下具有挑战性的样品进行成像：收集全面的样品信息。

　　真实样本的高效分析

　　利用 EDS 的多功能性进行调查并加快速度Sigma 560 流的 EDS 几何结构可提高您的分析效率。两个 180° 径向相对的 EDS 端口保证了吞吐量和无阴影映射，即使在低射束电流和低加速电压下也是如此。

　　腔室上用于 EBSD 和 WDS 的附加端口允许进行 EDS 以外的分析。

　　即使是非导体也可以使用新的 NanoVP lite 模式进行分析，具有更多的信号和对比度。

　　新的 aBSD4 检测器可轻松提供高度形貌样品的图像。

　　自动化您的原位实验

　　完集成的无人值守测试实验室Sigma的原位实验室是一种完集成的解决方案，可在无人值守的自动化工作流程中实现独立于操作员的加热和拉伸测试结果。

　　通过分析 3D 中的纳米级特征进一步扩展您的工作流程：执行 3D STEM 断层扫描或执行基于 AI 的图像分割。

　　新的 aBSD4 允许实时 3D 表面建模 (3DSM)。

　　轻松对具有挑战性的样品进行成像

　　查看 1 kV 及以下的差异在 1 kV 甚至 500 V 下实现信息成像和分析：Sigma 560 的低电压分辨率在 500 V 时指为 1.5 nm。

　　使用新的 aBSD 或 C2D 检测器，在加速电压低至 3 kV 的新 NanoVP lite 模式下，在可变压力下轻松研究具有挑战性的样品。

　　如果您正在研究电子设备，您会希望保持清洁的环境。通过(强烈推荐)等离子清洁器和允许穿梭 6 英寸晶圆的新型大型气闸，保护您的腔室免受污染。

　　Gemini 1 光学

　　Gemini 1 光学系统由三个元件组成：物镜、光束增强器和 Inlens 检测概念。物镜设计结合了静电场和磁场，以大限度地提高光学性能，同时将对样品的场影响降至低。这使得即使在具有挑战性的样品(如磁性材料)上也能实现出色的成像。Inlens 检测概念通过检测二次 (SE) 和/或背散射 (BSE) 电子确保有效的信号检测，同时大限度地缩短成像时间。光束增强器保证小探头尺寸和高信噪比。

　　灵活检测

　　Sigma 具有一套不同的检测器。使用新的检测技术表征您的样品。使用 ETSE 和用于高真空模式的 Inlens 检测器获取高分辨率地形信息。使用 VPSE 或 C2D 检测器在可变压力模式下获得清晰的图像。使用 aSTEM 检测器生成高分辨率透射图像。使用不同的可选 BSE 检测器(例如 aBSD 检测器)研究成分和形貌。