JL-200SCG/300SCG晶陶/晶圆加工机-东莞市友钻机械五金有限公司手机版

产品简介

一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度，唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作台上的晶圓才能達成。.應用範圍晶陶加工機可應用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃、寶石等研磨。機器特性採內藏式馬達氣靜壓主軸--迴轉精度0.1m。氣靜壓旋轉工作台--迴轉精度0.1m。進給解析度0.1m，Z軸Feed rate 1-10m/min 。快送速度為250mm/min。先進功能強大的FANUCOi全數位控制系統。項目機型JL- 200 SCG大研磨面積工件直徑O 200 mm主軸型式氣靜壓主軸主......

详细介绍

一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度，唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作台上的晶圓才能達成。.

應用範圍

晶陶加工機可應用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃、寶石等研磨。

機器特性

採內藏式馬達氣靜壓主軸--迴轉精度0.1μm。

氣靜壓旋轉工作台--迴轉精度0.1μm。

進給解析度0.1μm，Z軸Feed rate 1-10μm/min 。

快送速度為250mm/min。先進功能強大的FANUCOi全數位控制系統。

項目

機型

JL- 200 SCG

大研磨面積

工件直徑

O 200 mm

主軸

型式

氣靜壓主軸

主軸數

功率

3.7 kw

轉數

1000-5000 rpm

O 200(mm) 鑽石砂輪

Z 軸

行程

120 mm

進給解析度

0.1 μ m

快速進給

205 mm/min

工作台

型式

氣靜壓

工作台數

轉數

0-500 rpm

厚度規

量測範圍

0-1000 μ m

解析度

0.1 μ m

重現精度

± 0.5 μ m

重量

機器重量

2000 kg

尺寸

機器作業空間

700(W)x1700(D)x2100(H) mm)

加工精度

平行度

1.5 μ m

厚度公差

± 3 μ m

表面粗度

Ry 0.15 μ m

標準附件：

特殊附件：

鑽石砂輪

精密級空氣乾燥機

法蘭

高度規

陶瓷真空吸盤

主軸溫度控制器

真空幫浦

工具箱及工具