GENIUS系列紫外皮秒激光器

应用：

● 半导体晶圆检查
● 细胞筛选
● 微加工
● 微型立体光刻

GENIUS系列紫外皮秒激光器

特征参数：

● 150-350nm@355nm
● 80MHz重复频率 / 12ps脉宽
● 高光束质量M2<1.3 
● 紧凑、密封、坚固的工业级操作平台确保了良好的光束性能和*的功率稳定性。

GENIUS 系列

高重频紫外皮秒激光器

GENIUS 系列提供全固态准连续波长紫 外皮秒激光器。该款激光器采用工业化设 计，结构小巧、重量轻，标准通用外控接 口，适合系统集成。

光束特性 项目 GENIUS-150 GENIUS-350 波长(nm) 355nm 功率 150mW 350mW 重复频率 1(MHz) 80MHz±1MHz 脉宽 2(ps) ＜12ps 光束质量 TEM00(M2＜1.3) 平均功率稳定性 3(RMS) ＜2% 偏振度 ＞100:1 水平 光斑圆度(%) ＞85% 光束指向性 4(μrad/℃) ＜20μrad/℃ 光斑尺寸 5(mm) ~1mm 一般特性 电源输入 220 VAC ±5% 50-60Hz 能量损耗 ＜1kW 冷却方式 闭路循环水冷 工作条件 温度 15-35℃ 湿度 ＜65% 加热时间(min) ＜40min