Newview 9000 三维非接触式表面形貌仪-东方闪光（北京）光电科技有限公司手机版

产品简介

三维非接触式表面形貌仪是目前用在科学研究和工业领域*的表面轮廓测量设备，采用目的白光干涉原理（性能优于激光干涉轮廓仪与激光共聚焦显微镜）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。

详细介绍

产品特点

1. 1.NewView™ 9000 系列的 3D 光学表面轮廓仪可以提供多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。其测量都无损、迅速，且不需要样品制备。分析软件描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。

2. 对于各种表面结构，放大倍率及零件高度，可以实现小于 1 纳米到 20000 微米范围的测量，可测量各种材质表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和台阶面等。

3. NewView 9000 系列提供三种配置。带 3 个目镜切换器的NewView 9000 系统。

技术参数

垂直扫描范围
150um 压电陶瓷驱动，20mm 扩展扫描

重复性
＜0.08nm

RMS 重复性
0.008nm

横向分辨
空间采样
0.34um(100X 物镜)
0.04um(100x 物镜，2 倍zoom)

扫描速度
171um/s

台阶测量
线性度
重复性 ≤ 0.1%
小于 20nm 或者 0.1%

测试软件

典型的 MX 数据分析界面

产品应用
1.测量次纳米表面形貌

2.机械加工中的应用

测试实例

1.表面粗糙度测量

2.更快的拼接大尺寸样品平面度

3.区域分析

4.微观表面结构分析

5.划痕分析

产品资料下载

产品介绍-Newview9000

美国ZYGO公司三维非接触式表面轮廓仪-NexviewNX2

ZYGO-Verifire_MST_Brochure

ZYGO-NexviewNX2,NewView9000_ObjectiveChart

ZYGO-Verifire_MST_Brochure

MST+633nm介绍-4inch

垂直扫描范围	150um 压电陶瓷驱动，20mm 扩展扫描
重复性	＜0.08nm
RMS 重复性	0.008nm
横向分辨空间采样	0.34um(100X 物镜) 0.04um(100x 物镜，2 倍zoom)
扫描速度	171um/s
台阶测量线性度	重复性 ≤ 0.1% 小于 20nm 或者 0.1%